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產(chǎn)品展示
PRODUCT DISPLAY
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SMC新產(chǎn)品輯-XGTP系列平行密封型門閥
  • 發(fā)布日期:2018-03-30      瀏覽次數(shù):1419
    •    SMC推出了一款XGTP系列平行密封型門閥。產(chǎn)品采用平行密封結(jié)構(gòu),可對應(yīng)300mm晶圓。適用于半導(dǎo)體裝置的真空工藝腔與傳輸腔之間的密封。

       產(chǎn)品參數(shù)
      ???◇ 長壽命:300萬次(常溫時)
      ???◇ 低發(fā)塵:發(fā)塵量減少到1/5以下(與舊型相比)
      ???◇ 省氣:耗氣量減少22%
      ???◇ 輕量:14kg(盒式)
      ???◇ 工作窗尺寸:50mm X 336mm
      平行密封構(gòu)造:門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封(L motion)構(gòu)造,降低了摩擦系數(shù),可大幅減少發(fā)塵量并延長使用壽命。

       

      應(yīng)用場合

      半導(dǎo)體加工過程中,針對各工藝腔之間的隔離。

    聯(lián)系方式
    • 電話

    • 傳真

      021-52500777

    在線客服
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